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多級(jí)脈沖，自動(dòng)變頻，電弧檢測(cè)，擁抱極致性能

高精度輸出，反射保護(hù)，守護(hù)安全，安心體驗(yàn)

高功率密度，節(jié)省Fab空間

客戶定制化，追求低成本方案

豐富的測(cè)試平臺(tái)，專業(yè)的行業(yè)認(rèn)證

寬泛的阻抗調(diào)節(jié)范圍，適應(yīng)多種應(yīng)用環(huán)境

連接射頻電源與等離子體反應(yīng)腔室，精準(zhǔn)匹配

極簡(jiǎn)的數(shù)字控制指令和模擬信號(hào)控制

先進(jìn)的控制電路及軟件算法

高精度，高速率的 A/D 轉(zhuǎn)換

多元化、可定制的用戶接口

脈沖匹配，功率分配

單雙極可選適用于等多種工藝應(yīng)用

具備 Wafer 狀態(tài)監(jiān)測(cè)功能

單雙通道放電模式可選

具備 Ramp 功能，電壓升降斜率值可設(shè)

輸出電壓極性可翻轉(zhuǎn)，具備多路獨(dú)立輸出能力

豐富的測(cè)試平臺(tái)，專業(yè)的團(tuán)隊(duì)

提供定制化服務(wù)

自有 RPS block 產(chǎn)線

自研陽極氧化工藝

長壽命耐腐蝕陽極氧化膜

無顆粒物污染

寬壓力 & 流量工作范圍

先進(jìn)的脈沖和多段式點(diǎn)火算法

硅類膜、碳膜、前級(jí)管道…… 清洗成熟應(yīng)用

FCVD、EPI、Strip…… 工藝成熟應(yīng)用

高可靠性設(shè)計(jì)

超過十萬套 RPS Block 成功應(yīng)用

提供定制化服務(wù)